情報通信・半導体製造装置関連製品
高度金属接合製品
(半導体プロセス部品)
アルミ冷却板
エッチング装置用で主に使用され、ウエハー温度制御の高精度化が可能です。セラミック溶射を施すことで、電気絶縁性や耐食性を強化することができます。
シャワーヘッド
半導体製造プロセスで必要なガスを、ウエハーに対して均一に供給します。そのために高精度な多数の微細孔と、内部には複雑なガス流路を有しています。
エッチング装置用で主に使用され、ウエハー温度制御の高精度化が可能です。セラミック溶射を施すことで、電気絶縁性や耐食性を強化することができます。
半導体製造プロセスで必要なガスを、ウエハーに対して均一に供給します。そのために高精度な多数の微細孔と、内部には複雑なガス流路を有しています。